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日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型KBX 一、核心技術(shù)特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，最快速度達(dá) 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統(tǒng)機(jī)型的 2 倍），可大幅縮短半導(dǎo)體晶圓在多工位間的傳輸時(shí)間（如曝光、蝕刻設(shè)備中的晶圓切換）。這一特性對(duì)提升產(chǎn)線整體效率至關(guān)重要，尤其適用于高產(chǎn)能需求的量產(chǎn)場(chǎng)景。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型EKS-M 一、核心技術(shù)特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，最快速度達(dá) 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統(tǒng)機(jī)型的 2 倍），可大幅縮短半導(dǎo)體晶圓在多工位間的傳輸時(shí)間（如曝光、蝕刻設(shè)備中的晶圓切換）。這一特性對(duì)提升產(chǎn)線整體效率至關(guān)重要，尤其適用于高產(chǎn)能需求的量產(chǎn)場(chǎng)景。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型EBS-M/G 一、產(chǎn)品定位與核心技術(shù) GSSD2 系列采用與 CKD 氣動(dòng) SSD2 系列相同的本體結(jié)構(gòu)，確保尺寸兼容性和機(jī)械剛性，同時(shí)搭載電動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，支持高精度定位與速度控制。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 氣動(dòng)級(jí)剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與氣動(dòng)執(zhí)行器相當(dāng)?shù)目箓?cè)向負(fù)載能力，減少外部導(dǎo)軌依賴。

日本CKD半導(dǎo)體導(dǎo)向內(nèi)置式活塞桿型EBR-M/G 一、產(chǎn)品定位與核心技術(shù) GSSD2 系列采用與 CKD 氣動(dòng) SSD2 系列相同的本體結(jié)構(gòu)，確保尺寸兼容性和機(jī)械剛性，同時(shí)搭載電動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，支持高精度定位與速度控制。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 氣動(dòng)級(jí)剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與氣動(dòng)執(zhí)行器相當(dāng)?shù)目箓?cè)向負(fù)載能力，減少外部導(dǎo)軌依賴。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器活塞桿型GSSD2 一、產(chǎn)品定位與核心技術(shù) GSSD2 系列采用與 CKD 氣動(dòng) SSD2 系列相同的本體結(jié)構(gòu)，確保尺寸兼容性和機(jī)械剛性，同時(shí)搭載電動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，支持高精度定位與速度控制。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 氣動(dòng)級(jí)剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與氣動(dòng)執(zhí)行器相當(dāng)?shù)目箓?cè)向負(fù)載能力，減少外部導(dǎo)軌依賴。

日本CKD喜開理半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型EJSG 一、核心技術(shù)與設(shè)計(jì)理念 EJSG 系列是 CKD 專為半導(dǎo)體制造、精密電子等高潔凈環(huán)境開發(fā)的滾珠絲桿驅(qū)動(dòng)型電動(dòng)執(zhí)行器，通過全密封結(jié)構(gòu) + 吸氣口設(shè)計(jì)，將發(fā)塵量降低至行業(yè)水平，滿足 ISO 4 級(jí)（10 級(jí)）潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。其外導(dǎo)軌式高剛性本體結(jié)合無電池絕對(duì)編碼器，在保證 ±0.01mm 重復(fù)定位精度的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng) 1100mm 行程和 850mm/s