日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ELCR

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ELCR

一、產(chǎn)品定位與核心設(shè)計(jì)邏輯

ELCR 系列是 CKD 面向精密制造、電子半導(dǎo)體及自動(dòng)化檢測(cè)領(lǐng)域推出的滑塊型電動(dòng)執(zhí)行器，以 “緊湊結(jié)構(gòu) + 高精度控制 + 長(zhǎng)壽命運(yùn)行" 為核心設(shè)計(jì)目標(biāo)。其采用步進(jìn)電機(jī)直驅(qū)滾珠絲杠與一體化線性導(dǎo)軌組合架構(gòu)，通過模塊化集成實(shí)現(xiàn) “電機(jī) - 絲杠 - 導(dǎo)軌 - 滑塊" 的協(xié)同傳動(dòng)，適配對(duì)空間、精度、穩(wěn)定性有嚴(yán)苛要求的自動(dòng)化場(chǎng)景。

二、核心技術(shù)特性與場(chǎng)景適配優(yōu)勢(shì)

1. 高精度與高剛性傳動(dòng)

定位精度：重復(fù)定位精度達(dá)**±0.02mm**，無效行程（空轉(zhuǎn)）≤0.1mm，絲杠導(dǎo)程可選 2mm/5mm/10mm，適配不同速度與精度需求的工藝（如芯片引腳檢測(cè)、微型組件組裝）。

結(jié)構(gòu)剛性：滑塊采用鋁合金一體化壓鑄成型，配合淬火硬化線性導(dǎo)軌（表面硬度 HRC58-62），徑向承載能力達(dá) 120N，可承受瞬時(shí)沖擊負(fù)載而不影響定位精度。

2. 緊湊設(shè)計(jì)與空間適配

超小安裝體積：本體寬度僅 45mm/60mm 兩種規(guī)格，電機(jī)與絲杠同軸集成（無外置聯(lián)軸器），較傳統(tǒng)執(zhí)行器節(jié)省 30% 安裝空間，可嵌入小型化設(shè)備（如半導(dǎo)體探針臺(tái)、微型貼片機(jī)）。

多方向安裝兼容：支持水平、垂直、倒掛等多角度安裝，垂直安裝時(shí)可選配制動(dòng)裝置（保持力達(dá)額定推力的 1.2 倍），防止斷電溜滑。

3. 潔凈與低維護(hù)特性

低發(fā)塵運(yùn)行：絲杠與導(dǎo)軌采用專用低揮發(fā)潤(rùn)滑脂，運(yùn)行時(shí)發(fā)塵量＜15 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒），符合 ISO Class 6 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，適配半導(dǎo)體晶圓傳輸、液晶面板組裝等潔凈場(chǎng)景。

長(zhǎng)壽命免維護(hù)：滾珠絲杠采用 “滾珠保持器 + 潤(rùn)滑儲(chǔ)油結(jié)構(gòu)"，維護(hù)周期延長(zhǎng)至 8000 小時(shí)（傳統(tǒng)型號(hào)約 3000 小時(shí)），減少設(shè)備停機(jī)維護(hù)成本。

4. 智能控制與系統(tǒng)兼容

控制器集成：標(biāo)配小型化控制器（尺寸 80×30×60mm），支持脈沖串輸入（脈沖當(dāng)量 0.001mm）與模擬量（0-10V/4-20mA）控制，可直接對(duì)接 PLC 或運(yùn)動(dòng)控制卡。

狀態(tài)監(jiān)控功能：部分型號(hào)內(nèi)置電機(jī)溫度傳感器與負(fù)載電流檢測(cè)，可通過 IO 口輸出過載、超溫預(yù)警信號(hào)，提前規(guī)避設(shè)備故障。

三、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與控制模式

控制類型適配控制器核心功能適用場(chǎng)景

脈沖 / 方向控制ECR-C01點(diǎn)動(dòng)、單軸定位、多段速運(yùn)行簡(jiǎn)單搬運(yùn)、固定點(diǎn)位檢測(cè)

模擬量控制ECR-C02速度 / 位置連續(xù)調(diào)節(jié)，適配動(dòng)態(tài)軌跡需求曲面檢測(cè)、柔性壓合

總線控制（可選）ECR-C03支持 Modbus-RTU 協(xié)議，多軸同步控制（≤8 軸）自動(dòng)化生產(chǎn)線、多工位協(xié)同作業(yè)

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體芯片檢測(cè)：驅(qū)動(dòng)探針以 ±0.02mm 精度接觸芯片引腳，配合測(cè)試儀器完成電學(xué)性能檢測(cè)，良率提升至 99.5% 以上。

微型電子元件組裝：在 SMT 貼片后工序中，驅(qū)動(dòng)滑塊攜帶吸嘴抓取 0402 規(guī)格電阻電容，以 300mm/s 速度完成 PCB 板精密貼裝。

光學(xué)檢測(cè)設(shè)備：驅(qū)動(dòng)光學(xué)鏡頭沿線性導(dǎo)軌移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工件表面劃痕、缺陷的掃描檢測(cè)，配合機(jī)器視覺系統(tǒng)達(dá)成微米級(jí)識(shí)別精度。

小型物料搬運(yùn)：在 3C 產(chǎn)品組裝線中，以 200mm/s 速度完成手機(jī)中框、電池等部件的搬運(yùn)，支持 100 萬次以上運(yùn)行。

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)與選型表

型號(hào)行程范圍最大推力最高速度電機(jī)規(guī)格適用場(chǎng)景

ELCR-45E0250~500mm120N400mm/s42 步進(jìn)電機(jī)（0.9°）精密檢測(cè)、微型組裝

ELCR-45E0550~600mm250N300mm/s42 步進(jìn)電機(jī)（0.9°）中負(fù)載搬運(yùn)、貼片機(jī)

ELCR-60E1050~400mm500N200mm/s57 步進(jìn)電機(jī)（1.8°）大負(fù)載傳輸、重型檢測(cè)設(shè)備

六、安裝與維護(hù)規(guī)范

精密安裝要求：

安裝基面平面度需≤0.08mm/m，建議使用大理石平臺(tái)或鑄鐵基座，通過百分表校準(zhǔn)。

電機(jī)電源線與編碼器線需分開布線（間距≥50mm），避免電磁干擾導(dǎo)致定位不準(zhǔn)。

預(yù)防性維護(hù)要點(diǎn)：

每運(yùn)行 1000 小時(shí)清潔滑塊防塵罩，防止粉塵堆積影響導(dǎo)軌潤(rùn)滑；

垂直安裝時(shí)每 6 個(gè)月檢查制動(dòng)裝置磨損，確保斷電后滑塊靜止≤0.05mm。

七、差異化優(yōu)勢(shì)與服務(wù)支持

性價(jià)比突出：在 ±0.02mm 精度級(jí)別中，價(jià)格較同類進(jìn)口產(chǎn)品低 15%-25%，同時(shí)保持 8000 小時(shí)長(zhǎng)壽命，適合中小批量自動(dòng)化設(shè)備升級(jí)。

定制化能力：可提供真空兼容版本（適應(yīng) 10?3Pa 真空環(huán)境）、防靜電涂層（表面電阻 10?~10?Ω）及特殊行程定制，匹配半導(dǎo)體特種工藝需求。

快速交付保障：常規(guī)型號(hào)（行程 50-300mm）備貨周期僅 5-7 天，可滿足設(shè)備緊急維修或量產(chǎn)爬坡需求。